INFICON PPG550/PPG570, tek bir flanşta tüm vakum aralığında hassas ölçümler için son teknoloji MEMS piezo teknolojisini Pirani sensörle birleştirir.
Temel Özellikler
- Son teknoloji MEMS piezo sensör + Pirani teknolojisi
- 2 mbar üzerinde gaz türünden bağımsız — güvenli havalandırma
- Atmosfer basıncında yüksek doğruluk ve tekrarlanabilirlik
- Kolay sistem entegrasyonu için seçilebilir analog çıkış sinyali
- Dijital arayüzler: RS-232 ve RS-485
- MKS 910 ve MKS 925'in doğrudan yedeği
- Geliştirilmiş titreşim direnci
- PPG550 ve PPG570 (genişletilmiş aralık) mevcut
Uygulamalar
- Analitik cihazlar ve kütle spektrometreleri
- Fiziksel buhar biriktirme (PVD)
- Ön vakum basınç ölçümü
- Gaz geri doldurma işlemleri
