Le PPG550/PPG570 d'INFICON combine la technologie piézoélectrique MEMS de pointe avec un capteur Pirani pour des mesures précises sur toute la plage de vide dans une seule bride.
Caractéristiques principales
- Technologie capteur piézoélectrique MEMS de pointe + Pirani
- Indépendant du type de gaz au-dessus de 2 mbar — ventilation sûre
- Haute précision et reproductibilité à pression atmosphérique
- Signal de sortie analogique sélectionnable pour intégration facile
- Interfaces numériques: RS-232 et RS-485
- Remplacement direct des MKS 910 et MKS 925
- Résistance aux vibrations améliorée
- PPG550 et PPG570 (plage étendue) disponibles
Applications
- Instruments analytiques et spectromètres de masse
- Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
- Mesure avant-vide
- Opérations de remplissage de gaz
