Le SKY® CDG025D d'INFICON offre une excellente stabilité à long terme et un temps de démarrage rapide — avec un bouclier de capteur breveté pour les environnements de fabrication exigeants.
Caractéristiques principales
- Gammes pleine échelle de 100 mTorr à 1000 Torr
- Stabilisation rapide après mise sous tension
- Récupération rapide après exposition à la pression atmosphérique
- Capteur céramique résistant à la corrosion
- Excellente stabilité du signal à long terme
- Compensé en température
- Bouclier de capteur breveté contre la contamination
- Fonction zéro à un bouton
- Alimentation large plage
- RS-232 et double point de consigne en option
Applications
- Fabrication de semi-conducteurs (Etch, CVD, PVD, ALD)
- Data storage & display manufacturing
- Procédés industriels sous vide
- Mesure de pression générale haute précision
