Das SKY® CDG025D von INFICON überzeugt durch hervorragende Langzeitstabilität und schnelle Einlaufzeit – mit patentiertem Sensor-Schutzschirm für anspruchsvolle Fertigungsumgebungen.
Hauptmerkmale
- Full-Scale-Bereiche von 100 mTorr bis 1000 Torr
- Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
- Schnelle Erholung nach Atmosphärendruckexposition
- Korrosionsbeständiger Keramiksensor
- Hervorragende Langzeit-Signalstabilität
- Temperaturkompensiert
- Patentierter Sensor-Schutzschirm gegen Kontamination
- Ein-Knopf-Nullstellung
- Weitbereichs-Versorgungsspannung
- Optionale RS-232-Schnittstelle und Schaltpunkte
Anwendungen
- Halbleiterfertigung (Etch, CVD, PVD, ALD)
- Data storage & display manufacturing
- Industrielle Vakuumverfahren
- Hochpräzise allgemeine Druckmessung
