L'INFICON PGE500 est la version haute performance de la jauge Pirani améliorée avec affichage OLED et contrôle numérique du filament.
Caractéristiques principales
- Plage de mesure : 5×10⁻⁴ à 1000 mbar (selon le type de gaz)
- Affichage OLED pour une excellente lisibilité
- 2 relais de points de consigne programmables
- Sortie analogique D-Sub 9 broches (0–10 V)
- Interface bus de terrain DeviceNet™ en option
- Remplacement direct pour la plupart des modules Granville-Phillips® Mini-Convectron®
- Disponible avec 8 raccords de processus : ISO-KF, CF-R, VCR, NPT
Applications
- Équipements de traitement des semi-conducteurs
- Systèmes à vide industriels avec intégration bus de terrain
- Mesure et contrôle généraux du vide
