Das SKY® CDG100D ist ein beheiztes Kapazitätsmembran-Vakuummeter für die hochpräzise Totaldruckmessung und -regelung. Die Temperaturregelung auf 100 °C verleiht dem Sensor herausragende Signalstabilität und Wiederholbarkeit — unabhängig von Umgebungsbedingungen und Prozesswärme. Die gasartunabhängige Keramikmesszelle ist korrosionsbeständig und durch INFICONs patentierten Sensorschutz geschützt; das Gerät liefert ein lineares 0–10-V-Signal über Full-Scale-Bereiche von 0.1 … 1000 Torr / 0.13 … 1333 mbar, lieferbar mit allen gängigen Flanschtypen und Feldbus-Schnittstellen.
- Etch-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterprozesse
- Chemische und korrosive Vakuumprozesse
- Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse
- Referenzsensor und Transferstandards
- Sensor temperaturgeregelt auf 100 °C
- Genauigkeit 0.2 % of reading (0.4 % lowest range)
- Gasartunabhängige, korrosionsbeständige Keramikzelle
- Patentierter Sensorschutz gegen Kontamination
- 50 % schnellere Aufwärmzeit — geringere Betriebskosten
- Nullpunktabgleich per Taste oder remote
- Diagnose-Port für schnellen Service
- Keine Langzeit-Rekalibrierung nötig; 2 Jahre Garantie
- CE, EN, UL, SEMI, RoHS
| Sensortemperatur | 100 °C |
| Messbereiche (FS) | 0.1 … 1000 Torr / 0.13 … 1333 mbar |
| Genauigkeit | 0.2 % of reading (0.4 % lowest range) |
| Ansprechzeit | 30 ms |
| Ausgang / Schnittstellen | 0–10 V · DeviceNet · Profibus DP · Profinet · 4–20 mA · EtherCAT |
| Versorgungsspannung | +14 … +30 V DC / ±15 V |
| Konformität | CE, EN, UL, SEMI, RoHS |