جهاز SKY® CDG100D هو مقياس تفريغ بغشاء سعوي مُسخَّن لقياس الضغط الكلي والتحكم فيه بدقة عالية. يمنح تنظيم درجة الحرارة عند 100 °C الحساسَ ثباتاً ممتازاً للإشارة وقابلية تكرار عالية، بمعزل عن الظروف المحيطة وحرارة العملية. خلية القياس السيراميكية المستقلة عن نوع الغاز مقاومة للتآكل ومحمية بدرع الحساس الحاصل على براءة اختراع من INFICON، ويوفر الجهاز خرجاً خطياً 0–10 فولت عبر نطاقات قياس كامل من 0.1 … 1000 Torr / 0.13 … 1333 mbar مع جميع أنواع الفلنجات وواجهات الناقل الصناعي الشائعة.
- عمليات الحفر وCVD وPVD وغيرها من عمليات أشباه الموصلات
- عمليات التفريغ الكيميائية والمسببة للتآكل
- عمليات الأغشية الرقيقة والتفريغ العامة
- حساس مرجعي ومعايير نقل
- حساس منظم حرارياً عند 100 °C
- دقة 0.2 % of reading (0.4 % lowest range)
- خلية سيراميكية مقاومة للتآكل ومستقلة عن نوع الغاز
- درع حماية الحساس من التلوث (براءة اختراع)
- إحماء أسرع بنسبة 50% — تكلفة تشغيل أقل
- ضبط الصفر بزر واحد أو عن بُعد
- منفذ تشخيص لخدمة سريعة
- لا حاجة لإعادة معايرة طويلة الأمد؛ ضمان سنتان
- CE, EN, UL, SEMI, RoHS
| درجة حرارة الحساس | 100 °C |
| نطاقات القياس | 0.1 … 1000 Torr / 0.13 … 1333 mbar |
| الدقة | 0.2 % of reading (0.4 % lowest range) |
| زمن الاستجابة | 30 ms |
| الخرج / الواجهات | 0–10 V · DeviceNet · Profibus DP · Profinet · 4–20 mA · EtherCAT |
| جهد التغذية | +14 … +30 V DC / ±15 V |
| المطابقة | CE, EN, UL, SEMI, RoHS |