İç Referans:
550-101A
Kuru pompa teknolojili mobil helyum kaçak dedektörü, kontaminasyon riski olmadan vakum ve koklama testi için.
Temizlik gerektiren vakum ekipmanı üretimi, vakum bileşenlerinin giriş kontrolü, vakum sistemlerinde bakım, proses gazı tesisatları ve yarı iletken, düz panel veya güneş pili üretimi.
| Özellik | Değer |
|---|---|
| Algılama sınırı, vakum modu | < 5 × 10⁻¹² mbar·l/s |
| Algılama sınırı, koklama modu | < 5 × 10⁻⁸ mbar·l/s |
| Algılanabilir kütleler | 2, 3, 4 (H₂, ³He, ⁴He) |
| Boşaltma emme hızı | 25 m³/h |
| Helyum emme hızı | 2,5 l/s (ULTRA) |
| Maksimum giriş basıncı | 15 mbar |
| Boyutlar (G × D × Y) | 1068 × 525 × 850 mm |
| Ağırlık | 110 kg |
| Güç kaynağı | 100–120 V / 220–240 V |
- Kuru pompa — yağ yok, test parçasında kontaminasyon yok
- I·ZERO arka plan bastırma
- Tüm ölçüm aralığında kalibrasyon için I·CAL algoritması
- Döndürülebilir ekran, isteğe bağlı uzaktan kumanda ve PC veri kaydı
- İyon kaynağında üç yıl garanti