EtherCAT'li TripleGauge — tek sensörde üç ölçüm sistemi, iki RJ45 soketi üzerinden bağlanır.
Atmosferden yüksek vakuma kadar kesintisiz ölçülen tesisler — iki yerine tek ölçüm tüpü.
| Özellik | Değer |
|---|---|
| Ölçüm prensibi | Kapasitif diyafram + Pirani + Bayard-Alpert iyonizasyonu |
| Ölçüm aralığı | 5 × 10⁻¹⁰ … 1500 mbar |
| Doğruluk | ±%15 okuma (10⁻⁸ … 50 mbar); ±%5 (50 … 950 mbar); ±%2,5 (950 … 1050 mbar) |
| Tekrarlanabilirlik | %5 okuma (1 × 10⁻⁸ … 10⁻² mbar) |
| Flaman | İtriyum oksit (Y₂O₃) kaplı iridyum |
| Çıkış sinyali | 0 … +10,13 V, dekat başına 0,75 V |
| Arayüzler | EtherCAT (2 × RJ45) |
| Güç kaynağı | +20 … +28 V DC |
| Güç tüketimi | ≤ 21 W |
| Ortam sıcaklığı | 0 … +50 °C |
| Fırınlama sıcaklığı | Elektronik ünite çıkarılmış hâlde vakum bağlantısında 80 °C |
| Maksimum giriş basıncı | 5 bar |
| Test bağlantısı | DN 25 ISO-KF, DN 40 CF-R |
| Vakuma maruz malzemeler | Y₂O₃, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, Al₂O₃, SnAg, paslanmaz çelik, cam |
| İç hacim | 24 cm³ (DN 25) / 34 cm³ (DN 40) |
| Koruma sınıfı | IP 30 |
| Parça numarası | 353-598 (DN 25 ISO-KF), 353-599 (DN 40 CF-R) |
- İtriya kaplı iki iridyum katot — biri arızalanırsa ikincisi devralır
- Ölçüm sistemi, elektronik üniteden bağımsız olarak değiştirilebilir
- Analog sensör kablo çıkışı yerine EtherCAT