Détecteur de fuites à l'hélium UL6000 Fab PLUS™

Détecteur de fuites à l'hélium UL6000 Fab PLUS™

ULTRATEST UL6000 Fab, en zorlu yarı iletken üretim ortamları için INFICON'un en yüksek performanslı mobil helyum kaçak test cihazıdır.

Avantajlar

Sektörde lider hassasiyet: ≤5×10⁻¹³ mbar·l/s
Çift turbo moleküler pompa sistemi
UL6000 Fab PLUS™: gelişmiş performans
Hızlı pompalama
Gelişmiş yazılım ve veri yönetimi

Uygulamalar

Kritik yarı iletken süreçler
UHV ekipman testi
Araştırma ve geliştirme
Uzay uygulamaları

Das ULTRATEST UL6000 Fab ist INFICONs leistungsstärkstes mobiles Helium-Lecksuchgerät für anspruchsvollste Halbleiterprozesse.

Vorteile

Branchenführende Empfindlichkeit: ≤5×10⁻¹³ mbar·l/s
Doppel-Turbomolekularpumpensystem
UL6000 Fab PLUS™: verbesserte Leistung
Schnelles Abpumpen
Fortschrittliche Software und Datenverwaltung

Anwendungen

Kritische Halbleiterprozesse
UHV-Geräteprüfung
Forschung und Entwicklung
Raumfahrtanwendungen

The ULTRATEST UL6000 Fab is INFICON's highest-performance mobile helium leak detector for the most demanding semiconductor processes.

Advantages

Industry-leading sensitivity: ≤5×10⁻¹³ mbar·l/s
Dual turbomolecular pump system
UL6000 Fab PLUS™: enhanced performance
Fast pump-down
Advanced software and data management

Applications

Critical semiconductor processes
UHV equipment testing
Research and development
Space applications

L'ULTRATEST UL6000 Fab est le détecteur de fuites hélium mobile le plus performant d'INFICON.

Avantages

Sensibilité leader: ≤5×10⁻¹³ mbar·l/s
Double pompe turbomoléculaire
UL6000 Fab PLUS™: performance améliorée

Applications

Procédés semi-conducteurs critiques
Test UHV
Recherche et développement

ULTRATEST UL6000 Fab أعلى أداءً لكاشفات تسرب الهيليوم المتنقلة من INFICON.

المزايا

حساسية رائدة: ≤5×10⁻¹³ mbar·l/s
نظام مضخة توربو جزيئية مزدوج
UL6000 Fab PLUS™: أداء محسّن

التطبيقات

العمليات الحرجة لأشباه الموصلات
اختبار UHV
البحث والتطوير

66 653,00 € VAT excl.

Ajouter au panier

Ajouter à la liste d'envies

Conditions générales
Garantie satisfait ou remboursé de 30 jours
Livraison : 2-3 jours ouvrables

Référence interne: 550-530

ULTRATEST UL6000 Fab — Teknik Özellikler

Hassasiyet	≤5×10⁻¹³ mbar·l/s
Pompa sistemi	Çift turbo moleküler pompa
Modeller	UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS™
Güç	100–230V AC, 50/60 Hz
Sertifikalar	CE, SEMI S2

ULTRATEST UL6000 Fab — Technische Daten

Empfindlichkeit	≤5×10⁻¹³ mbar·l/s
Pumpensystem	Doppel-Turbomolekularpumpe
Modelle	UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS™
Spannung	100–230V AC, 50/60 Hz
Zertifizierungen	CE, SEMI S2

ULTRATEST UL6000 Fab — Technical Specifications

Sensitivity	≤5×10⁻¹³ mbar·l/s
Pump system	Dual turbomolecular pump
Models	UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS™
Power	100–230V AC, 50/60 Hz
Certifications	CE, SEMI S2

ULTRATEST UL6000 Fab — Caractéristiques

Sensibilité	≤5×10⁻¹³ mbar·l/s
Système de pompe	Double turbomoléculaire
Certifications	CE, SEMI S2

ULTRATEST UL6000 Fab — المواصفات

الحساسية	≤5×10⁻¹³ mbar·l/s
نظام المضخة	توربو جزيئية مزدوجة
الشهادات	CE, SEMI S2