SKY® CDG160D Isıtmalı Kapasitif Diyafram Vakum Ölçer (160 °C)
- Ölçüm aralığı: 0,1 mbar – 1100 mbar (gazdan bağımsız)
- Sensör sıcaklığı: 160 °C (ısıtmalı)
- Yüksek reaktif ve yoğuşma riski olan prosesler için
- Çıkış sinyalleri: analog 4–20 mA, EtherCAT
- Proses bağlantısı: DN 16/25 ISO-KF, CF flanşlar, VCR bağlantılar
- ALD, CVD ve korozif yarı iletken proses odaları için uygundur