Das INFICON PPG550/PPG570 kombiniert modernste MEMS-Piezotechnologie mit einem Pirani-Sensor für präzise Messungen über den gesamten Vakuumbereich in einem Flansch.
Hauptmerkmale
- Modernste MEMS-Piezosensor-Technologie + Pirani
- Gasartunabhängig oberhalb 2 mbar — sichere Belüftung
- Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei Atmosphärendruck
- Wählbares Analogausgangssignal für einfache Systemintegration
- Digitale Schnittstellen: RS-232 und RS-485
- Direkter Ersatz für MKS 910 und MKS 925
- Verbesserte Vibrationsresistenz
- PPG550 und PPG570 (erweiterter Bereich) erhältlich
Anwendungen
- Analytische Geräte und Massenspektrometer
- Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
- Vorvakuummessung
- Gasrückfüllung
