INFICON SKY® CDG045D, korozif proses gazları ve zorlu vakum uygulamaları için %0,15 doğrulukla 45°C sıcaklık kontrollü kapasitif diyafram manometresidir.
Temel Özellikler
- Düşük toplam sahip olma maliyeti – %50 daha hızlı ısınma, enerji verimli
- Geniş tam ölçek (50 mTorr … 1000 Torr), flanş ve arayüz seçenekleri
- Standart çift ayar noktası
- Ayarlanabilir ofset ile tek düğmeli veya uzaktan sıfırlama
- Kolay servis için tanı portu
- 2 yıl garanti – gelişmiş ısıtma konsepti ile uzun ömür
- Mükemmel sinyal kararlılığı sayesinde uzun vadeli yeniden kalibrasyon gerektirmez
- Fieldbus seçenekleri: EtherCAT, Profinet, Profibus DP, DeviceNet, 4-20 mA
Uygulamalar
- Etch, CVD, PVD yarı iletken üretim prosesleri
- Kimyasal ve korozif vakum prosesleri
- İnce film ve genel vakum uygulamaları
- Uluslararası standartlara göre referans sensör
- İzlenebilir ölçümler için transfer standardı
