SKY® CDG025D / CDG025D-S, zorlu proses ortamlarında kararlı ölçüm için tasarlanmış, sıcaklık kompanzasyonlu, yüksek hassasiyetli bir kapasitif diyafram vakum ölçerdir. Korozyona dayanıklı, ultra saf seramik sensör, milyonlarca basınç çevrimi boyunca üstün sıfır noktası kararlılığı sağlar; patentli sensör koruma kalkanı ölçüm hücresini proses kaynaklı kirlenmeye karşı korur. Dijital elektronik; açılışta hızlı kararlılık, atmosfer basıncına maruziyet sonrası hızlı toparlanma ve tek tuşla sıfır ayarı sunar. CDG025D-S versiyonu, iki yapılandırılabilir anahtarlama noktası rölesi ve RS232 arayüzü ekler.
- Yarı iletken üretimi (dağlama, CVD, PVD, ALD)
- Veri depolama ve ekran üretim ekipmanları
- Endüstriyel vakum proses ekipmanları
- Genel yüksek hassasiyetli basınç ölçümü
- 0,1 – 1000 Torr (0,13 – 1333 mbar) tam ölçek aralıkları
- Okunan değerin %0,2'si doğruluk (en küçük aralıklarda %0,25/%0,5)
- Gaz türünden bağımsız ölçüm prensibi
- Açılışta hızlı kararlılık, havalandırma sonrası hızlı toparlanma
- Korozyona dayanıklı ultra saf seramik sensör
- Patentli sensör kirlenme kalkanı
- Sıcaklık kompanzasyonu ve yüksek EMC bağışıklığı
- Tek tuşla sıfır ayarı
| Doğruluk | 0.2 % (0.25 / 0.5 %) |
| Tam ölçek aralıkları | 0.1 … 1000 Torr / 0.13 … 1333 mbar |
| Çözünürlük | 0.003 % FS |
| Tepki süresi | 30 ms (130 ms @ 0.1 FS) |
| Besleme gerilimi | +14 … +30 V DC, ≤1 W |
| Çalışma sıcaklığı | +5 … +50 °C |
| Koruma sınıfı | IP30 |
| Akışkanla temas eden malzemeler | Al₂O₃ ceramic, Vacon, AISI 316L, AgCuTi |
| Uygunluk | CE (EN 61000-6-2/-3, RoHS), ETL (EN/UL 61010-1) |
| Çıkış sinyali | 0 … +10 V DC, 2 setpoint relays, RS232 (D-Sub 15-pin) |