INFICON PCG550/552/554, 5×10⁻⁵ ila 1500 mbar arasında gaz türünden bağımsız ölçümler için Pirani teknolojisini seramik kapasitans diyafram ile birleştirir.
Temel Özellikler
- 10 mbar üzerinde gaz türünden bağımsız ölçüm
- Çift sensör: Pirani + seramik kapasitans diyafram
- Üç filaman seçeneği: Tungsten (PCG550), Nikel (PCG552), Seramik kaplı (PCG554)
- Herhangi bir gaz karışımıyla güvenli havalandırma
- EtherCAT®, Profibus DP, DeviceNet, RS-232/RS-485
- Opsiyonel atmosfer anahtarı
- Tak-çalıştır sensör
- CE, EN, UL, CSA, RoHS
Uygulamalar
- Load lock kontrolü
- Ön vakum basınç ölçümü
- Vakum sistemlerinde güvenlik devreleri
- Genel kaba ve orta vakum ölçümü
