MPG550 Gemini kombinasyon ölçeri, ters çevrilmiş magnetron soğuk katot sensörünü bir Pirani elemanıyla birleştirir ve atmosferden ultra yüksek vakuma kadar tüm aralığı — 1×10⁻⁹ … 1000 mbar — tek kompakt cihazda kapsar. Yanabilecek sıcak filaman olmadığından ani havalandırma ve gaz girişlerinden etkilenmez; yüksek basınçlarda Pirani elemanı kesintisiz devreye girer. Montaj yönü serbesttir, 1×10⁻⁶ mbar üzerinde tepki süresi 100 ms'nin altındadır; logaritmik analog çıkışın yanı sıra RS232, RS485 veya EtherCAT arayüzleri sunar. 55x versiyonu, iki mekanik anahtarlama rölesi ve EtherCAT fieldbus arayüzüyle daha büyük gövdede sunulur.
- PVD ve endüstriyel kaplama
- Yarı iletken proses ve transfer hazneleri
- Araştırma ve UHV sistemleri
- Genel yüksek ve ultra yüksek vakum izleme
- Atmosferden UHV değerine kadar tüm aralık tek cihazda
- Sıcak filaman yok — ani havalandırma ve gaz girişinden etkilenmez
- Kesintisiz Pirani/soğuk katot geçişi
- Response time < 100 ms above 1×10⁻⁶ mbar
- Logaritmik analog çıkış; RS232, RS485 veya EtherCAT
- Flanşta 150 °C değerine kadar fırınlanabilir; her yönde montaj
- CE (EN 61010-1, EN 61000-6-2/-6-3), RoHS
| Ölçüm aralığı | 1×10⁻⁹ … 1000 mbar |
| Doğruluk (N₂) | ±30 % (10⁻⁸ … 100 mbar), ±50 % (100 … 1000 mbar) |
| Tekrarlanabilirlik (N₂) | ±5 % |
| Analog çıkış | 0 … +10.5 V (log) |
| Besleme gerilimi | +14.5 … +30 V DC, ≤2 W |
| Arayüzler | RS232 / RS485 / EtherCAT |
| Koruma sınıfı | IP40 |
| Standartlar | CE (EN 61010-1, EN 61000-6-2/-6-3), RoHS |