MAG504 Gemini soğuk katot ölçeri, ters çevrilmiş magnetron sensörüyle 1×10⁻⁹ … 1×10⁻² mbar aralığında toplam basıncı ölçer — ani havalandırmada veya gaz girişinde yanabilecek sıcak filaman yoktur. Sağlam ve kompakt cihaz her yönde monte edilebilir, 1×10⁻⁶ mbar üzerinde 100 ms'nin altında tepki verir; logaritmik analog sinyalin yanı sıra RS232, RS485 veya EtherCAT dijital arayüzleri sunar. Seçilebilir yüksek/düşük emisyon akımı ve opsiyonel titanyum iyonizasyon odası, cihazı zorlu proseslere uyarlar. Bu versiyon, korozif uygulamalar için seramik kaplı geçişe sahiptir.
- PVD ve endüstriyel kaplama
- Yarı iletken proses ve transfer hazneleri
- Araştırma ve UHV sistemleri
- Genel yüksek ve ultra yüksek vakum izleme
- Sıcak filaman yok — ani havalandırma ve gaz girişinden etkilenmez
- Response time < 100 ms above 1×10⁻⁶ mbar
- Seçilebilir yüksek/düşük emisyon akımı
- Opsiyonel titanyum iyonizasyon odası
- Logaritmik analog çıkış; RS232, RS485 veya EtherCAT
- Flanşta 150 °C değerine kadar fırınlanabilir; her yönde montaj
- CE (EN 61010-1, EN 61000-6-2/-6-3), RoHS
| Ölçüm aralığı | 1×10⁻⁹ … 1×10⁻² mbar |
| Doğruluk (N₂) | ±30 % |
| Tekrarlanabilirlik (N₂) | ±5 % |
| Analog çıkış | 0 … +10.5 V (log) |
| Besleme gerilimi | +14.5 … +30 V DC, ≤2 W |
| Arayüzler | RS232 / RS485 / EtherCAT |
| Koruma sınıfı | IP40 |
| Standartlar | CE (EN 61010-1, EN 61000-6-2/-6-3), RoHS |