BPG552 Trigon çift ölçeri, çift filamanlı Bayard-Alpert sıcak iyon sensörünü bir Pirani elemanıyla tek kompakt cihazda birleştirir ve atmosferden 5×10⁻¹⁰ mbar değerine kadar ölçer. Pirani kilidi sıcak iyon filamanlarını erken yanmaya karşı korur, otomatik yüksek vakum Pirani ayarı operatör müdahalesini en aza indirir, kayan emisyon modu basınç sıçramalarını ortadan kaldırır. Galvanik izoleli elektronik, çıkarılabilir kalibrasyon çipleri, 90° dönebilen OLED ekran, anahtarlama röleleri ve RS232C veya EtherCAT arayüzleri paketi tamamlar — BPG402 ile geriye dönük uyumludur.
- Yarı iletken proses, transfer ve load-lock haznelerinde basınç ölçümü
- Endüstriyel kaplama prosesleri
- Kaba vakumdan ultra yüksek vakuma genel vakum ölçümü ve kontrolü
- Doğruluk ve uzun ömür için çift itriyum oksit kaplı filaman
- Kayan emisyon modu — emisyon geçişinde basınç sıçraması yok
- Galvanik izoleli elektronik
- Çıkarılabilir kalibrasyon veri çipleri — genişletilmiş fırınlanabilirlik
- 90° dönebilen parlak OLED ekran
- Anahtarlama röleleri; analog çıkış, RS232C ve EtherCAT
- Bağımsız çalışma veya VGC50x kontrolörlerle
- RoHS
| Ölçüm aralığı | 5×10⁻¹⁰ … 1000 mbar |
| Doğruluk (N₂) | ±15 % (10⁻⁸ … 10⁻² mbar) |
| Tekrarlanabilirlik (N₂) | ±5 % |
| Filaman | 2 × Ir (Y₂O₃) |
| Ekran | OLED (90°) |
| Arayüzler | Analog, RS232C, EtherCAT |
| Standartlar | RoHS |