BPG400 Bayard-Alpert Pirani kombinasyon ölçeri, iki ölçüm sistemini tek kompakt cihazda toplar ve 5×10⁻¹⁰ mbar ile atmosfer basıncı arasındaki devasa aralığı kapsar. İki teknolojinin birleşimi kurulum, ayar ve entegrasyon yükünü belirgin şekilde azaltır; prosesten taban basıncına kadar uygun maliyetli, tekrarlanabilir ölçümler sağlar. Pirani kilidi, Bayard-Alpert sistemini erken filaman yanmasına ve yüksek basınçlarda kirlenmeye karşı korur; uzun ömürlü itriyum oksit kaplı iridyum filaman ve otomatik yüksek vakum Pirani ayarı bakımı azaltır. Opsiyonel grafik ekran ve fieldbus arayüzleri mevcuttur.
- Yarı iletken proses, transfer ve load-lock haznelerinde basınç ölçümü
- Endüstriyel kaplama prosesleri
- Kaba vakumdan ultra yüksek vakuma genel vakum ölçümü ve kontrolü
- Son derece geniş aralık: 5×10⁻¹⁰ mbar ile atmosfer arası
- 10⁻⁸ … 10⁻² mbar proses aralığında %5 mükemmel tekrarlanabilirlik
- Pirani kilidi Bayard-Alpert sistemini korur
- Uzun ömürlü itriyum oksit kaplı iridyum filaman
- Otomatik yüksek vakum Pirani ayarı
- Opsiyonel grafik ekran ve fieldbus arayüzleri
- RoHS
| Ölçüm aralığı | 5×10⁻¹⁰ … 1000 mbar |
| Doğruluk (N₂) | ±15 % (10⁻⁸ … 10⁻² mbar) |
| Tekrarlanabilirlik (N₂) | ±5 % |
| Degaz | EB, max. 3 min |
| Analog çıkış | 0 … +10 V (log) |
| Besleme gerilimi | +20 … +28 V DC |
| Arayüzler | RS232C |
| Koruma sınıfı | IP30 |
| Standartlar | CE, RoHS |