BCG552 Trigon TripleGauge, üç ölçüm elemanını — çift filamanlı Bayard-Alpert, Pirani ve kapasitif diyafram — tek sensör flanşında birleştirir ve 5×10⁻¹⁰ … 1500 mbar aralığında ölçer. 13 mbar üzerinde CDG elemanı gaz türünden bağımsız ölçüm yaparak güvenilir load-lock kontrolü ve güvenli havalandırma sağlar; diferansiyel basınç ölçümü, değişen ortam basıncına karşı ek güvenlik sunar. Kayan emisyon modu, galvanik izoleli elektronik, 90° dönebilen OLED ekran, anahtarlama röleleri ve RS232C veya EtherCAT arayüzleri paketi tamamlar — BCG450 ile geriye dönük uyumludur.
- Yarı iletken proses, transfer ve load-lock haznelerinde basınç ölçümü
- Endüstriyel kaplama prosesleri
- Kaba vakumdan ultra yüksek vakuma genel vakum ölçümü ve kontrolü
- Doğruluk ve uzun ömür için çift itriyum oksit kaplı filaman
- Kayan emisyon modu — emisyon geçişinde basınç sıçraması yok
- Galvanik izoleli elektronik
- Çıkarılabilir kalibrasyon veri çipleri — genişletilmiş fırınlanabilirlik
- 90° dönebilen parlak OLED ekran
- Anahtarlama röleleri; analog çıkış, RS232C ve EtherCAT
- Bağımsız çalışma veya VGC50x kontrolörlerle
- RoHS
| Ölçüm aralığı | 5×10⁻¹⁰ … 1500 mbar |
| Doğruluk (N₂) | ±2.5 % (950 … 1050 mbar), ±5 % (50 … 950 mbar), ±15 % (10⁻⁸ … 50 mbar) |
| Tekrarlanabilirlik (N₂) | ±5 % |
| Filaman | 2 × Ir (Y₂O₃) |
| Ekran | OLED (90°) |
| Arayüzler | Analog, RS232C, EtherCAT |
| Standartlar | RoHS |