BAG552 Trigon sıcak iyon ölçeri, 5×10⁻¹⁰ … 2×10⁻² mbar aralığındaki geniş UHV ve HV ölçümü için iki itriyum oksit kaplı filamanlı saf Bayard-Alpert ölçüm sistemi kullanır. Kayan emisyon modu, emisyon akımı geçişlerindeki basınç sıçramalarını ortadan kaldırır; galvanik izoleli elektronik sinyali temiz tutar; çıkarılabilir kalibrasyon veri çipleri genişletilmiş fırınlamaya izin verir. Parlak OLED ekran 90° döner, anahtarlama röleleri ve analog çıkış dahildir; RS232C veya EtherCAT cihazı dijital olarak bağlar — bağımsız veya VGC50x kontrolör serisiyle.
- Yarı iletken proses, transfer ve load-lock haznelerinde basınç ölçümü
- Endüstriyel kaplama prosesleri
- Kaba vakumdan ultra yüksek vakuma genel vakum ölçümü ve kontrolü
- Doğruluk ve uzun ömür için çift itriyum oksit kaplı filaman
- Kayan emisyon modu — emisyon geçişinde basınç sıçraması yok
- Galvanik izoleli elektronik
- Çıkarılabilir kalibrasyon veri çipleri — genişletilmiş fırınlanabilirlik
- 90° dönebilen parlak OLED ekran
- Anahtarlama röleleri; analog çıkış, RS232C ve EtherCAT
- Bağımsız çalışma veya VGC50x kontrolörlerle
- RoHS
| Ölçüm aralığı | 5×10⁻¹⁰ … 2×10⁻² mbar |
| Doğruluk (N₂) | ±15 % (10⁻⁸ … 2×10⁻² mbar) |
| Tekrarlanabilirlik (N₂) | ±5 % |
| Filaman | 2 × Ir (Y₂O₃) |
| Ekran | OLED (90°) |
| Arayüzler | Analog, RS232C, EtherCAT |
| Standartlar | RoHS |