BAG402 Bayard-Alpert sıcak iyon ölçeri, 5×10⁻¹⁰ … 2.7×10⁻² mbar genişliğindeki ölçüm aralığını kapsar ve kompakt aktif bir cihazda uygun maliyetli, tekrarlanabilir proses-taban basıncı ölçümü sunar. İki uzun ömürlü itriyum oksit kaplı iridyum filamanın benzersiz askı sistemi, üstün doğruluk, uzun vadeli kararlılık ve dayanıklılık garanti eder. Seçilebilir emisyon akımı kontrol karmaşıklığını azaltır; entegre kalibrasyon veri çipli, kolayca değiştirilebilen sensör kafası sahada değişimi basit ve tekrarlanabilir kılar. Doğrudan PLC bağlantısı için OEM cihazı olarak tasarlanmıştır.
- Yarı iletken proses, transfer ve load-lock haznelerinde basınç ölçümü
- Endüstriyel kaplama prosesleri
- Kaba vakumdan ultra yüksek vakuma genel vakum ölçümü ve kontrolü
- Geniş ölçüm aralığı 5×10⁻¹⁰ … 2.7×10⁻² mbar
- 10⁻⁸ … 10⁻² mbar proses aralığında ±%5 mükemmel tekrarlanabilirlik
- Benzersiz askılı iki uzun ömürlü itriyum oksit kaplı iridyum filaman
- Seçilebilir emisyon akımı kontrol karmaşıklığını azaltır
- Entegre kalibrasyon veri çipli değiştirilebilir sensör kafası
- Doğrudan PLC bağlantısı için OEM tasarım
- RoHS
| Ölçüm aralığı | 5×10⁻¹⁰ … 2.7×10⁻² mbar |
| Doğruluk (N₂) | ±15 % (10⁻⁸ … 10⁻² mbar) |
| Tekrarlanabilirlik (N₂) | ±5 % |
| Filaman | 2 × Ir (Y₂O₃) |
| Degaz | EB |
| Standartlar | CE, RoHS |