İç Referans:
399-721
İki flamanlı Bayard-Alpert sıcak iyon tüpü, 2,7 × 10⁻¹¹ mbar'a kadar — elektron bombardımanıyla gaz alma.
Araştırma, yüzey analizi, hızlandırıcılar ve yarı iletken üretiminde yüksek ve ultra yüksek vakum.
| Özellik | Değer |
|---|---|
| Ölçüm prensibi | Bayard-Alpert sıcak katot iyonizasyonu |
| Ölçüm aralığı | 2,7 × 10⁻¹¹ … 1,3 × 10⁻³ mbar |
| Duyarlılık (N₂) | 25 Torr⁻¹ |
| X-ışını sınırı | 2 × 10⁻¹¹ Torr |
| Doğruluk | ±%20 (N₂) |
| Tekrarlanabilirlik | ±%5 |
| Emisyon akımı | 100 µA … 10 mA |
| Anot gerilimi | +180 V DC |
| Gaz alma | Elektron bombardımanı, ≤ 40 W |
| Fırınlama sıcaklığı | ≤ 450 °C |
| Test bağlantısı | DN 40 CF |
| Vakuma maruz malzemeler | Kollektör tungsten, flaman Ir veya W, ızgara paslanmaz çelik/tungsten, Al₂O₃ seramik geçiş |
| Kontrol ünitesi | VGC083A, VGC083B |
| Parça numarası | 399-720 (2 × iridyum), 399-721 (2 × tungsten) |
- DN 40 CF flanşına doğrudan monte edilen, Bayard-Alpert elektrot sistemli çıplak ölçüm tüpü
- Elektroniksiz pasif kafa — VGC083A veya VGC083B kontrol ünitesiyle çalışır
- 450 °C'ye kadar fırınlanabilir, bu nedenle fırınlama sırasında hazneye takılı kalabilir