İç Referans:
399-663
Aşırı yüksek vakum için ekstraktör sensörü, 2 × 10⁻¹² – 1 × 10⁻⁴ mbar — ekstraktör prensibi X-ışını sınırını bastırır.
Araştırma, yüzey analizi, hızlandırıcılar ve yarı iletken üretiminde yüksek ve ultra yüksek vakum.
| Özellik | Değer |
|---|---|
| Ölçüm prensibi | Ekstraktör |
| Ölçüm aralığı | 2 × 10⁻¹² … 1 × 10⁻⁴ mbar |
| X-ışını sınırı | < 1 × 10⁻¹² mbar |
| Duyarlılık (N₂) | 6,25 mbar⁻¹ |
| Emisyon akımı | 1,6 mA |
| Test bağlantısı | DN 40 CF |
| Flaman | İtriyum oksit (Y₂O₃) kaplı iridyum |
| Fırınlama sıcaklığı | ≤ 400 °C |
| Vakuma maruz malzemeler | NiFe pimler, Al₂O₃ yalıtkan, paslanmaz çelik flanş ve kollektör, tungsten anot, NiFe reflektör |
| Boyutlar (G × D × Y) | 90 × 55 × 12,8 mm |
| Kontrol ünitesi | IM540 |
| Parça numarası | 399-663 (sensör), 399-677 (yedek katot) |
- Kendi elektroniği olmayan pasif sensör — IM540 kontrol ünitesiyle çalışır
- İtriyum oksit kaplı iridyum katot
- Fiş çıkarıldığında 400 °C'ye kadar fırınlanabilir; sıcaklığa dayanıklı kabloyla flanşta 250 °C
- Bayard-Alpert tüpünden bir dekat daha derin; karşılığında üst ölçüm aralığı dar ve duyarlılık düşük